原料气流量是影响反应体系中活性粒子密度和碰撞概率的主要因素之一，活性炭表面改性 净水等离子硅片清洗机等离子体注入功率是产生等离子体中各种活性粒子(高能电子、活性氧物种、甲基自由基等)的能量来源，两者的动态协同影响可用能量密度Ed(kJ/mol)描述。Ed=P/F (1-20)式中，Ed为能量密度(k
